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我院一项目获批上海市2022年度“科技创新行动计划”科学仪器领域立项
发布日期:2022-09-14 16:00 浏览次数:

近日,经申报推荐、形式审查、专家评审、立项公示等审核选拔,我院承担的“基于长光程FTIR法检测14nm及以下先进制程用电子特气中痕量氮氧化物杂质的检测方法研究”获批上海市2022年度“科技创新行动计划”科学仪器领域立项。

集成电路制程用电子特气是电子工业生产不可或缺的原材料,电子特气的纯度与晶体缺陷及器件成品率密切相关。

“基于长光程FTIR法检测14nm及以下先进制程用电子特气中痕量氮氧化物杂质的检测方法研究”项目将聚焦集成电路行业制程用电子特气的检验检测领域,针对14nm及以下先进制程用电子特气在集成电路制造中出现的质控空白,使用长光程傅里叶变换红外光谱法,提出一套检测电子特气中关键氮氧化物杂质的方法,可重点提升长光程FTIR操作应用的技术水平,形成仪器共享的操作流程和应用技术,有效提高傅立叶变换红外光谱仪的利用率,提升电子特气超痕量杂质的分析水平。

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